【快速退火炉】（RapidThermalProcessing，简称RTP），是通过红外灯管加热技术和腔体冷壁技术，实现快速升温和降温，从而实现特定热处理工艺。最主要的应用范围是指集成电路领域（以硅为代表的第一代半导体）和光电子领域（以砷化镓代表的第二代半导体）为代表的半导体领域。在半导体工艺中，热处理/退火是必不可少的工艺，主要是因为半导体器件都是为达到功能化，也就是说电信号的输入/输出，这些都要金属电极来协助完成。想要能得到好的接触，就必须通过退火/扩散工艺来进行优化。当然，金属合金化只是快速退火炉其中一个也是较为重要的一个功能，在别的相关行业还有其他运用。
因此可见，快速退火炉是半导体工艺设备中极其关键的一份子。但是，如何选择快速退火炉，也是广大科研人员的一件难事。要么价格高超了经费预算！要么买了却用不上，设备性能满足不了工艺参数！或者，购买后问题不断，售后维修服务也难求！为此，今天就为大家讲一讲，快速退火炉的关键参数和信息。我们从以下几个层面筛选，就能少走弯路！
一、生产商
俗话说得好，打铁还需自身硬！1个好的产品，离不了1个好企业！一个公司一定要通过专利不断积累技术储备，还有不脱离市场和用户的态度，才可以生产出来一个满足用户预期的产品。所以，挑选快速退火炉首先要考虑生产厂家硬核实力！
二、售后维修服务
售后维修服务是保障广大用户权益的重要保障。孰能无过，孰能无过，仪器设备亦是如此。仪器设备在日常操作中，在所难免因为一些因素而发生各种各样故障问题。各种问题很可能导致整个项目课题进程的落后甚至是暂停。所以，选一个能提供相应的售后维修服务且能够现场解决问题厂商极其关键。
三、性能参数
快速退火炉一般是由温度控制系统、真空维持系统、水冷循环系统、气氛处理系统和PC操作系统等组成。其主要的性能参数都是对应上述几个主要的组成系统。性能参数的好坏，都是取决于【快速退火炉】是否符合样品的工艺指标。今日，为大家介绍一下快速退火炉及其关键几个性能参数。
1.最高温度。
简而言之，最高温度便是快速退火炉能加热升温的最高温度点，那也是快速退火炉最主要的参数指标之一。而且这个主要参数常常以十分直观地形式表现在温控表或数显平台上。但很多人都不知道是指，有一些生产厂家标识的最高温度其实不是样品台或是样品可以达到温度。这种生产厂家会将炉膛内的测温单元偏离样品台，放到接近加热源的一端。如此一来，测温单元的最高温度就可以达到其宣称的最高温度。可事实上，样品台或是样品的温度根本没办法到达这一温度。
同时还值得关注的是，在最高温度整体稳定性和持续性也需要关注。某这些设备不但无法满足工艺指标，并且易造成样品的损坏。
2.升/降温速率。
快速退火炉的“快速”二字便足以证明升/降温速率快的重要程度。因而， 从另外几个地方说说升/降温速率。首要有关升温速率，我们应该关心的是实际温度（SV）和设置温度（PV）的跟随性。在温度监测的线型图（能实时检测升温过程中的温度变化，这个功能对快速退火炉很重要）中，SV和PV曲线的重合度越高，表示该退火炉的控温精度越好。如下图，上方的线型图便展示了SV和PV的温度变化。
嘉仪通科技某款RTP控制界面
次之至于降温速率，各大生产厂家采用的降温手段基本相同，是指通过冷却气氛达到快速降温效果。大家要注意的是冷却气氛的气体流量控制方式和精度以及相关安全防护。
3.温度均匀性
快速退火炉的温度均匀性，便是有效加热区内的温度稳定在目标温度后，样品上不同点位的温度的最大值和最小值之差。这一主要参数关系着退火效果的质量。对此，国标GB/T9452-2012《热处理炉有效加热区测定方法》中明确的要求。
4.安全防护
近些年，高校实验室的安全事件屡屡发生。这种安全事故不但导致了直接经济损失，并且对实验者也造成了无法磨灭影响。辛辛苦苦十几载，一朝安全事故功名败。因此，大家在选择快速退火炉一定要注意它的安全保障措施。【快速退火炉】的安全保障措施一般有紧急开关、炉壁高温报警、腔室安全阀和舱门误操作报警等。安全防范措施越多，设备安全系数也就越高，我们自己的人身安全就会更安全可靠。
