【rtp快速退火炉】是一种简易相对稳定的热处理系统,采用先进的红外线加热管进行加热,造型新颖结构合理,炉体和炉管可以随意滑动,可快速完成升降温。炉管内尺寸130MM,就可以直接放下5英寸的材质。试样反应区处于一个密闭的石英腔体内,在实现生产工艺流程工作的同时,也大大降低间接污染试样的概率。
【rtp快速退火炉】基本功能和优势:
1、可视化效果7寸触摸显示屏,设置数据和实际操作都是图文界面,操作简便;
2、炉体配备高精度工作平台,运行平稳无抖动;
3、炉管可以自由移动,且密封法兰之间用搭扣压紧连接,放、取物料方便快捷,防止了螺栓密封人为实际操作导致漏气的可能性;降低了因组装法兰而导致加热管受损的可能性;当炉管退出炉膛时冷确风扇运行,可以实现试样的快速减温,满足材质骤冷骤热的实验规定;
4、炉膛采用先进的多晶纤维真空吸附制成,采用先进的红外线加热管进行加热,使用期限可达5000小时,升温速度快,温度可达1050℃。
5、预留出真空、气路快速端口,可搭配我司真空系统、混气系统使用;
6、预留出485转换接口,可以通过我司专用程序,与计算机互联,可以实现单台或者多台电炉的远程控制、动态追踪、浏览记录、输出报表等多种功能;
7、设置超温报警并断电,漏电保护,实际操作安全稳定。
【rtp快速退火炉】主要用途:
1、离子注入/接触退火;
2、快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
3、可以在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用;
4、SiAu,SiAl,SiMo合金化;
5、低介电材料;
6、晶体化,致密化;
7、太阳能电池片键合。